Chemikalienfiltration in der Display Fertigung

Hersteller von GEN 10 und Glassubstraten späterer Generationen benötigen Chemikalienfiltrationsprodukte, die für hohe Flussraten geeignet sind und gleichzeitig die erforderlichen Rückhalteraten erzielen.

 

Um geringere Herstellungskosten zu erzielen, müssen für Prozesse wie Nassätzen, Strippen, Entwicklungs- und Reinigungsanwendungen für die Herstellung von TFT-Arrays sowie die Schritte des Farbfilterprozesses Produkte verwendet werden, die sich für Flussraten von über 300 l/min bei geringem Platzbedarf eignen.

Pall Microelectronics bietet ein breites Spektrum an Filtern und Konfigurationen für Substratgrößen GEN10 und darüber hinaus  als auch für kleinere Substratgrößen an.   

Wir produzieren ein breites Sortiment an Membranmaterialien (Polysulfon, Polyethersulfon, Polypropylen, ECTFE, PTFE und nicht-entnetzendes PTFE), um die Partikelabscheideanforderungen der jeweiligen Substratgrößen zu erfüllen. 

Für die Anforderungen der verschiedenen Chemikalien an die Flussrate stehen geeignete Filtergehäuse zur Verfügung.

  Display - ÜbersichtDisplay – Anwendungen
Display – Chemikalienfiltration
Display – Fotolithographie-Filtration
Display – Flüssigkristallfiltration
Display – Gasfiltration und -reinigung
Display – Reinstwasserfiltration 

Produkte für die Chemikalienfiltration in der Display-Fertigung

Filterelemente

Emflon®-Filter (Chemikalienfiltration)
Emflon®-Filter (Chemikalienfiltration)Dieser Filter wird für PTFE- und Polypropylen-kompatible Chemikalien empfohlen. 

 
Emflon® PF-Filter (Chemikalienfiltration)
Emflon® PF-Filter (Chemikalienfiltration)Bei diesem Filter handelt es sich um eine Vollfluorpolymer-Filterkerze mit einem gefalteten Filtermedium für die Filtration aggressiver Prozessflüssigkeiten.


Fluorodyne®-Filter
Fluorodyne® FilterDieser Filter eignet sich für die strengen Anforderungen, die heutzutage für Anwendungen zur Herstellung von hochreinem DI-Wasser erfüllt werden müssen.


Fluorodyne® VA- und Fluorodyne® TF-Filter
Fluorodyne® VA- und Fluorodyne® TF-FilterDiese Filter wurden speziell für eine schnelle Aufreinigung von rezirkulierenden Bädern zur Vernickelung entwickelt und eignen sich darüber hinaus ideal für die Verwendung in rezirkulierenden Reinigungsbädern mit entionisierten Wasser und alkalischen Seifen.

Fluoryte High Flow-Filter
Fluoryte™ High Flow-FilterDas Design dieses Filters ermöglicht bessere Flussraten und eine längere Standzeit im Vergleich zu herkömmlichen gefaltenen Filtermedien, einschließlich solcher mit höherer Fläche oder variablen Faltengrößen.

HDC® II – J-Serie
HDC® II – J-SerieDiese Filterkerze besteht aus reinem Polypropylen und besitzt eine große, gefaltete Filterfläche.



P Emflon®-Filter (Chemikalienfiltration)
P Emflon®-Filter (Chemikalienfiltration)Dieser Filter wird insbesondere für die Bulkfiltration von Photolacken und Chemikalien, die mit PTFE und Polyethylen hoher Dichte (HDPE) kompatibel sind, empfohlen.

 
Poly-Fine® XLD-Filterkerze
Poly-Fine® XLD-FilterkerzeDiese Filterkerze ist durch die innovative Kombination aus Tiefenfilter- und gefalteten Filtertechnologien gekennzeichnet, die hohe Flussraten bei geringen Druckabfällen liefern.



 
Prewet UltiKleen- und Kleen-Change®-Filter
Prewet UltiKleen™- und Kleen-Change®-FilterFilterkerzen aus Voll-Fluorpolymer-Komponenten werden in den heutigen Halbleiterfertigungsverfahren für die Filtration hochreiner Chemikalien eingesetzt.


Profile® II-Filter
Profile® II-FilterelementeDieser Filter wird in vielen verschiedenen Industrien, wie Chemie, Petrochemie, Fotochemie, Pharmazie, Bio, Elektronik, Magnetband, Galvanisierung, Lebensmittel und Getränke, Kosmetik, Tiermedizin, Medizin, Fermentation, in einem breiten Spektrum an Anwendungen eingesetzt. Er kann als Vor- und Endfilter verwendet werden.

Profile® UP-Filter
Diese Filterelemente eignen sich ideal für viskose Flüssigkeiten und Dispersionen sowie für viele der Anwendungen, bei denen eine lange Standzeit wünschenswert ist.

Small Flow Emflon®-Filter
Small Flow Emflon®-Filter (Chemikalienfiltration)Dieser Filter wird für PTFE- und Polypropylen-kompatible Chemikalien empfohlen.


UltiKleen CDS-Filter
UltiKleen™-CDS-FilterBei diesem Filter handelt es sich um die Standard-Vollfluorpolymer-Filterkerze von Pall für die Halbleiterindustrie. Dieser Filter wurde in erster Linie für moderne Systeme zur Versorgung mit Bulkchemikalien entwickelt.


UltiKleen™-S-Filter und UltiKleen-G2
UltiKleen™-S-Filter und UltiKleen-G2Dies ist eine moderne Vollfluorpolymer-Filterkerze, die besonders für die kritische Chemikalienfiltration empfohlen wird.

 
Ultipleat® High Flow-Filter
Ultipleat® High Flow-FilterDieser Filter eignet sich perfekt für die Vorfiltration vor Umkehrosmose sowie für die Harzabscheidung und Kühlwasseranwendungen. 



Ultipleat® High Flow-Filter für Ätzanwendungen
Ultipleat® High Flow-Filter für ÄtzanwendungenDer Ultipleat High Flow-Filter eignet sich für Anwendungen in der TFT LCD-Fertigung wie Nassätzen und Reinigung.


Ultipleat® HP-Filter
Ultipleat® HP-FilterDieser Filter wurde speziell für eine schnelle Badreinigung in Rezirkulations-Vernickelungsbädern entwickelt. Er ist außerdem ideal für die Verwendung in rezirkulierenden Reinigungsbäder mit DI-Wasser und alkalischen Seifen geeignet.

Ultipleat® PC-Filter
Ultipleat® PC-FilterDieser Filter wird insbesondere für Anwendungen zur Reinigung von Komponententeilen empfohlen, bei denen hohe Flussraten sowie Partikelrückhalteraten von 0,2 μm erforderlich sind.





Ultipleat® PK-Filter
Ultipleat® PK-FilterDiese Filterkerzen sind für wässrige Anwendungen mit hohen Flussraten, die in Prozessen für 7G- und 8G-LCD-Anzeigen benötigt werden, ausgelegt.


Ultipleat® PKS-Filter
Ultipleat® PKS-FilterDiese Filterkerze wurde speziell für Anwendungen entwickelt, bei denen Wasser mit hohen Flussraten gefiltert werden muss. Dies ist für 5G-LCD- und neuere Generation der LCD-Prozesse erforderlich.




Ultipor® GF-HV-Filter
Ultipor® GF-HV-FilterDieser Filter ist gut für Anwendungen zur Slurry-Filtration mit hoher Viskosität und hohen Feststoffkonzentrationen geeignet.



Filterkerzen der VaraClean CET-Serie
Filterkerzen der VaraClean CET-SerieDiese asymmetrische Membranfilterkerze mit großer Filterfläche wurde für Kupfergalvanik-Anwendungen entwickelt.


Filterkerzen der Serie Water-Fine
Filterkerzen der Serie Water-FineDieser Filter für DI-Wasser und hochreines Wasser bietet hohe Flussraten und eine lange Standzeit.



Filterkerzen der WFPK-Serie
Filterkerzen der WFPK-SerieFür LCD-Reinigungsprozesse mit hohen Flussraten Und Anwendungen mit hohen Flussraten für 5G- und neuerem LCD-Reinigungs-Equipment




Gehäuse

Fluoro-Plus II PFA-Filtergehäuse
Fluoro-Plus™ II PFA-FiltergehäuseDieses Einzelfiltergehäuse wurde für kritische chemische Anwendungen in der Elektronik entwickelt.


Megaplast In-Line-PFA-Filtergehäuse
Megaplast™ In-Line-PFA-FiltergehäuseDieses Filtergehäuse ist für die strengen Reinheits- und Kompatibilitätsanforderungen von Reinstchemikalien ausgelegt.


Megaplast Polypropylen- und PVDF-Filtergehäuse (Reinstwasserfiltration)
Megaplast™ Polypropylen- und PVDF-Filtergehäuse (Reinstwasserfiltration)Diese Filtergehäuse bieten ausgezeichnete mechanische Eigenschaften ohne Verwendung von Metallkomponenten.


 

Reiniger

IonKleen™ SL-Reiniger
IonKleen™ SL-ReinigerDieser Reiniger ist speziell auf die Abscheidung von Metallionen aus organischen Lösungsmitteln und Mischungen aus organischen Lösungsmitteln und Sorbenzien ausgelegt.