Kristallzüchtung

Schutz von Vakuumpumpen mit PV Blowback Filtern

Die Abgase von Czochralski Ziehanlagen, die zur Herstellung von monokristallinen Kristallen verwendet werden, enthalten Staubpartikel, die durch Kondensation über der Siliziumschmelze entstehen. Dieser Staub muss filtriert werden um Menschen, Umgebung und die Vakuumpumpen zu schützen.  

Feiner Siliziumstaub ist hochreaktiv und oxidiert in einer exothermen Reaktion sofort zu SiO und SiO2. Je nach Dotierungsstoff kann dieser Staub sehr gefährlich sein.

Pall has extensive experience in this application. Pall PSS stainless steel filter elements and housings in combination with our Blowback technology are the best long-term proven solution in the industry.

Herkömmliche Filtertechnologie
  • Erfolgt die Staubfiltration mit Einweg-Filtern muss das Filtergehäuse während des Filterwechsels geöffnet werden, so dass Anwender mit dem Staub belastet werden und die Umgebung der Pumpe kontaminiert wird.
  • Die Oxidation von Si/SiO in SiO2 ist eine exotherme Reaktion und herkömmliche Filtermedien sind gegenüber der hohen Temperaturen langfristig nicht beständig, was zu einer beeinträchtigten Filterintegrität führt. Dadurch kann es zu einer Migration von abrasivem Silizium und somit zur Beschädigung der Pumpe kommen.
  • Häufige Filterwechsel haben lange Prozessausfallzeiten und hohe Betriebskosten zur Folge.
PSS-Filtermedium mit Blowback-Technologie
  • Pall has the most efficient, proven long-term solution on the market.
  • Das Filtergehäuse muss zur Entfernung des Staubes nicht geöffnet werden.
  • Die Reinigung wird schnell und automatisch nach jedem Prozesszyklus mithilfe der Blowback-Technologie durchgeführt.
 

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Bei Fragen zur Bestellung wenden Sie sich an Ihren Pall-Vertreter.

  • Die Oxidation von Si/SiO in SiO2 erfolgt unter kontrollierten Bedingungen im Filtergehäuse.
  • Die äußerst stabilen PSS-Filterelemente sind besonders beständig gegenüber hohen Temperaturen und bieten eine optimale Abscheidung des Siliziumstaubes.
  • Diese Filtrationseinheiten sind in halb- und vollautomatischer Ausführung erhältlich.
  • Blowback-Einheiten können in der Regel mehrere Jahre betrieben werden, bevor ein Filterwechsel erforderlich wird.
  • Die Betriebskostenrechnung ergibt eine Amortisierung innerhalb von zwei Jahren.
  • Die besonderen Merkmale der Blowback-Einheiten sind keine Leckagen, eine lange Lebensdauer der Pumpe und geringe Betriebskosten.

Einrichten einer PV Blowback-Einheit

Einrichten einer PV Blowback-Einheit


Gasreinigung für Czochralski-Ziehanlagen

Tritt Kristallversatz während der Züchtung im Einkristall auf muss dieser wieder partiell rückgeschmolzen werden um diese Defekte zu entfernen. Das Einschmelzen verursacht hohe Kosten, da es den Züchtungszyklus verlängert und den Durchsatz der Anlage beeinträchtigt. Gaskleen Gasreiniger entfernen Feuchtigkeit im sub-ppb-Bereich aus Argon, das in CZ-Ziehanlagen als Schutzgas verwendet wird.

  • Kristalline Defekte während der Züchtung des Silizium Einkristalls werden minimiert.
  • Zusätzliches Rückschmelzen ist seltener oder nicht mehr erforderlich.