Fertigung von kristallinen Silizium Solarzellen

Chemikalienfiltration für Rezirkulationsbäder

Pall filters can reduce particle contamination on wafer surfaces during the cleaning and etching steps.

Pall products can also protect critical orifices (i.e., cleaning nozzles), preventing them from becoming clogged and resulting in equipment downtime.

Die Standzeit des Bades kann durch eine rezirkulierende Filtration maximiert werden.  Ein chemisches Bad kann durch die Filtration länger genutzt werden. Ein saubereres Bad kann auch die Qualität der Wafer-Oberfläche verbessern.
 
Pall offers a wide choice of suitable filtration products for chemical, gas and water applications.

Filterempfehlungen

Sägeschädenätzen und Texturieren

  • Profile® A/S-Filter
    • Diese Filter wurden speziell entwickelt, um eine kosteneffektive Lösung für heiße und/oder hochkontaminierte, aggressive Chemikalien zu bieten, die besonders für die alkalische Textur geeignet sind.
Phosphordiffusion, Oxidätzen und Kantenisolation

Empfehlungen für Filtergehäuse

Megaplast™-Filtergehäuse

    • Erhältlich in Polypropylen, PVDF und PFA
    • Erhältlich in den Größen 10 Zoll und 20 Zoll
    • Mit vielen Anschlußtypen erhältlich
 

Überblick Photovoltaik
Photovoltaik – Anwendungen
Photovoltaik – Polysilizium-Reinigung und -Verarbeitung
Photovoltaik – Kristallzüchtung
Photovoltaik – Rückgewinnung von Silizium und Prozesswasser
Photovoltaik – Verarbeitung kristalliner Siliziumzellen
Photovoltaik – Fertigung von Dünnschichtmodulen
Photovoltaik – Produkte
Bei Fragen zur Bestellung wenden Sie sich an Ihren Pall-Vertreter.

Filtration für Anti-Reflective-Coatings

Molekulare Verunreinigung in Wasserstoff und Silan, das zur Herstellung für Anti-Reflex-Coatings oder Dünnschichten aus amorphem Silizium verwendet wird, können zahlreiche Prozessprobleme verursachen. Wie z. B. eine ungleichmäßige Beschichtung und andere Defekte aus generierten Partikeln.

Gaskleen® II-Reiniger reduzieren den Feuchtigkeits- und Sauerstoffgehalt in Wasserstoff und Silan auf < 1 ppb.  Der Reiniger kann zudem Spurenanteile von Siloxanen und Dotierungsmetallen wie As, P, Al und B aus Silan entfernen.

Lesen Sie den entsprechenden Anwendungsbericht: „Removal of Siloxane Impurities From Silane Gas in the Silicon Epitaxy Process“ (PDF)

Kostengünstige Gasfiltration

Gaskleen Light Komplettfilter bieten eine Gasfiltration nach dem Stand der Technik für den Photovoltaikmarkt bei geringstmöglichen Kosten.