Partikelfiltration in Gasen für die Halbleiterfertigung

Aufgrund der Prozessanforderungen der moderner Bauteile hat die Verwendung aller möglichen Arten von hochreinen Gasen deutlich zugenommen.

Für das Erreichen und Aufrechterhalten des erforderlichen hohen Reinheitsgrades dieser Gase ist es von großer Bedeutung, den richtigen Filter für Bulk- und POU-Anwendungen auszuwählen.

Filteranforderungen

Da ein Bedarf an noch reineren Prozessgasen für die IC-Herstellung besteht, wurden die Kriterien für die Evaluierung der Filterleistung auf den Prüfstand gestellt. 

Eine Partikelrückhalterate ist nicht das einzige Kriterium bei der Auswahl des richtigen Filterprodukts. Es müssen auch Faktoren wie das Potenzial des Filters zur Ausgasung von schädlichen Verunreinigungen und Partikelfreisetzung berücksichtigt werden.

Diese Überlegungen gelten auch für Filterkomponenten und Gehäuse.

Pall recognizes the importance of proper material selection, cleanliness standards, housing surface preparation, and specialized manufacturing processes with regard to product quality.

Dank unserer umfassenden Kenntnisse haben wir Praktiken eingeführt, die sich zu Branchenstandards entwickelt haben.

 

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Anwendungsliteratur zur Gasfiltration für die Halbleiterfertigung
Bei Fragen zur Bestellung wenden Sie sich an Ihren Pall-Vertreter.

All Pall Gaskleen® filter assemblies are:

  • Verpackung in speziellen Doppelbeuteln und Spülung mit hochreinem Stickstoff zur Vermeidung einer Feuchte- oder Sauerstoffverunreinigung.
  • Außen geschützt durch einen aluminiumbeschichteten Mylar-Dampfsperrbeutel, der die Reinheit zusätzlich garantiert.
   
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