• Einfache Installation
Die Prozessüberwachung ist in der heutigen Zeit wichtiger als je zuvor. Mit jedem neuen Technologieknoten entwickelte sich die Erkennung und Aufreinigung von tödlichen Schadstoffen zu einer noch größeren Herausforderung, da die Partikel dieser Stoffe immer kleiner werden und ein geringeres Volumen annehmen.

Pall bietet niedrige Nachweisgrenzen und schnelle Trocknungszeiten auf einer kostengünstigen Plattform, die sich mit dem Gaskleen® Pico1000-Analysegerät problemlos transportieren lässt. Das Gerät unterstützt Hersteller von Halbleitern und gastechnischen Anlagen sowie Anbieter von Prozessgas und OEM-Prüfwerkzeugen, die reinsten Stickstoff bei der Herstellung ihrer Produkte und bei der Qualitätskontrolle einsetzen.

Anwendungen

Produktionsstätten

Das Pico1000-Analysegerät kommt an Produktionsstätten für Halbleiter zur Anwendung. Es führt Stichproben an Gasleitungen sowie eine Fehlersuche mit entsprechender Fehlerbehebung durch. Weiterhin kann es zur Erkennung der restlichen Lebensdauer einer Aufreinigungsanlage oder zur Bestimmung des Aufreinigungsbedarfs eingesetzt werden. Wenn Wartungsarbeiten von Prozessgasleitungen und Geräten durchgeführt werden, erfordert Wiederherstellung dieser Anlagen eine Einhaltung der Vorgaben zur Qualitätssicherung bzw. -kontrolle.

Integratoren

Die Hersteller von Gaskabinetten bzw. Gasversorgungssystemen verfügen wahrscheinlich über kundenspezifische Vorgaben, mit denen die Produkte vor der Lieferung zertifiziert werden sollen. Dank eines mobilen Geräts zur Feuchtigkeitsüberwachung mit kurzer Trocknungszeit können Qualitätssicherung und -kontrolle in möglichst geringer Zeit vorgenommen werden.

Herstellung von ultrahochreinem Gas

Die Produktionsgasvorgaben zur Zertifizierung von Produkten werden kontinuierlich gesenkt, um die Marktnachfrage zu erfüllen. Ganz gleich, ob im Labor, in dem Genauigkeit und Präzision entscheidend sind, oder in der Praxis, in der die Trocknungszeit Priorität hat, das Pico1000-Analysegerät erfüllt sämtliche Anforderungen. Da das Gerät von Pall niedrige Nachweisgrenzen bietet, fallen auch entsprechend weniger Betriebskosten an.

Originalgerätehersteller

Die integrierte Aufreinigung von Feuchtigkeit entwickelt sich zu einem gängigen Verfahren in der Industrie für Prüfwerkzeuge. Je nach Gaszufuhrmethode der Produktionsstätten kann die Feuchtigkeit von 1 bis 500 ppbv reichen. Diese führt zur Verunreinigung von Linsen und zur Korrosion von benetzten Materialien. Die Robustheit des Pico1000-Festkörper-MEMS-Sensorsystems ermöglicht nun Ingenieuren des technischen Kundendienstes die Überprüfung der Qualität von standortspezifischen Gasvorgaben während der Installation.
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Literatur
Informationen zu Pico-Produkten
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Nachhaltigkeit des Unternehmens
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