Rückgewinnung von Prozesswasser und Silizium

Die Bearbeitung von Siliziumblöcken vor dem Wafering umfasst Sägen und Schleifen.  

Große Wassermengen sind zur Kühlung von Werkzeugen und Siliziumoberflächen, als Schmiermittel und zur Entfernung der entstehenden Silizium-Feinteile erforderlich. Wenn das gebrauchte Prozesswasser aus den Werkzeugen austritt, ist es stark mit Siliziumpartikeln verunreinigt.

Pall introduces a new generation of fully automated separation systems for the reclamation of water and silicon sludge from the spent grinding/sawing water. (Lesen Sie hier den entsprechenden Anwendungsbericht.) Dieses System ermöglicht PV-Wafer-Herstellern:

  • Die Wiederverwendung von bis zu 95 % an gebrauchtem Prozesswasser als hochwertiges Wasser.
  • Die Reduzierung von Abwasservolumina.
  • Die Verbesserung der Säge-/Schleifleistung durch Kontrolle der Prozesswasserspezifikationen.
  • Die Reduzierung von Maschinenfouling und unkontrollierter Sedimentbildung in Rohren, Tanks und Becken.
  • Die Reduzierung chemischer Gefahr durch Silizium-Wasser- Wechselwirkungen durch eine kontrollierte Vorbehandlung gebrauchten Prozesswassers.
  • Die Sammlung von entwässerten Silizium-Schlamm mit sehr geringer chemischer Verunreinigung als Rohstoff zur Silizium-Wiederverwendung.

Das Herzstück eines solchen Rückgewinnungssystems (siehe Diagramm unten) besteht aus einer dynamischen Membranfiltrationseinheit (MF) in Kombination mit einer physikalisch-chemischen Behandlung des konzentrierten Siliziums.

Die Systeme klären das verunreinigte Prozesswasser. Üblicherweise werden 90 bis 95 % des verunreinigten Prozesswassers nach einer Klärung wiederverwendet. Das verbleibende Konzentrat kann entsorgt, mit anderen Abwässern vermischt oder weiteren Behandlungen unterzogen werden, um Entsorgungsrichtlinien zu erfüllen oder entwässert werden um Silizium zurückzugewinnen. Auf Nachfrage sind weitere Optionen verfügbar. 

 

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Pall has over 20 systems, treating 3 to 33 m³/h (13-145 GPM) silicon containing wastewater, operating successfully throughout the world.   Die Aufnahme unten zeigt eine dynamische Filtrationseinheit, die auf die Verarbeitung von 30 m³/h (132 GPM) an Silizium-Schleif-/Sägewasser ausgelegt ist. Die Anlage verfügt über eine 2 x 75 %-Architektur für sichere Prozesswasserversorgung.

Rückgewinnung von gebrauchtem Schleif-/Sägewasser

Rückgewinnung von gebrauchtem Schleif-/Sägewasser

Automatisches Mikrofiltrationssystem für die Rückgewinnung von PV-Silizium-Schleif-/Sägewasser

Automatisches Mikrofiltrationssystem für die Rückgewinnung von PV-Silizium-Schleif-/Sägewasser