Gaskleen® Pico1000-Messgerät

Das Gaskleen Pico1000-Messgerät misst die Feuchtespuren in Stickstoff- und Argon-Prozessgasströmen mit einer Nachweisgrenze von 1 Part per Billion (ppbv). Das System eignet sich ideal zur Qualifizierung und Zertifizierung von Leitungen für ultrareine Prozessgase sowie zur Überwachung von Gasreinigern. Durch die robuste, kompakte Konstruktion ist das Gerät mobil und kann einfach an verschiedenen Orten eingesetzt werden, um die Prozessgasqualität schnell an vielen verschiedenen Stellen zu prüfen. Das Gaskleen Pico1000-Messgerät verbraucht im Vergleich zu Messgeräten von Mitbewerbern bis zu 70 % weniger Prozessgas.

Betrieb

Das Messgerät nutzt ein mikro-elektromechanisches System (MEMS) zur gravimetrischen Messung der Feuchtigkeitskonzentration. Proben-Prozessgas strömt durch einen Massendurchflussregler zum Vorkonzentrierer-MEMS, in dem die Feuchtigkeit während der Probenahmephase durch eine proprietäre Beschichtung aufgenommen wird. Ist die Probenahme abgeschlossen, erhitzt sich der Vorkonzentrierer innerhalb von Millisekunden und „verdampft“ die gesammelte Feuchtigkeit.

In Verbindung mit dem Vorkonzentrierer arbeitet ein Resonator-MEMS, der im Mhz-Frequenzbereich vibriert. Der Resonator ist mit einer weiteren proprietären chemoselektiven Beschichtung funktionalisiert, um die Absorption und Desorption der vom Vorkonzentrierer verdampften Feuchtigkeit zu erhöhen. Diese proprietäre Konstruktion ermöglicht es dem Resonator, die auf dem Resonator absorbierte Feuchtigkeit schnell zu messen.

Der Messzyklus beginnt damit, dass der Resonator mit einer bestimmten MHz-Frequenz vibriert. Wenn der Vorkonzentrierer die Feuchtigkeit verdampft, kommt es zu einer Frequenzverschiebung (ΔHz) des Resonators, die detektiert und in ein elektrisches Signal umgewandelt wird, das direkt zur Feuchtigkeitsmasse proportional ist.

Die Probenahme wird kontinuierlich durchgeführt, mit Ausnahme des Zeitraums, in dem die Verdampfung durch den Vorkonzentrierer und die Resonator-Messung stattfindet. Dies nimmt nur einige Sekunden in Anspruch. Bei dem Gaskleen Pico1000-Messgerät handelt es sich nahazu um ein echtzeit Messgerät mit kontinuierlicher Probenahme und chargenweiser Messung.

Eigenschaften

  • Neuartige Technologie des 21. Jahrhunderts
  • 1 ppbv Nachweisgrenze bei einer Empfindlichkeit von  400 ppt
  • Robustes, leichtes und vielseitiges Design
  • Integrierte Diagnose
  • Verbraucht 70% weniger Gas als herkömmliche Systeme

Vorteile

  • Einfache „Plug-and-Play“-Installation und Betrieb
  • 3,6 ppbv Bestimmungsgrenze
  • Schnelle Reaktionszeit
  • Konzipiert für Mobilität
  • Qualifikation und Bestimmung der Lebensdauer von Gasreinigern
  • niedrigste Betriebskosten