Filtration und Reinigung in der Halbleiterindustrie


Die Kontaminationskontrolle ist einer der wichtigsten Aspekte bei der Herstellung von Halbleiterbauteilen.

Pall Corporation bietet Lösungen für die Filtration, Reinigung und Abscheidung für ein breites Spektrum an Flüssigkeiten, wie Chemikalien, Gas, Wasser, CMP-Slurries und Photolack.

Im Blickpunkt

  • The Gold Standard

    Der neue 10 nm Ultipleat® SP DR-Filter, leistungsbewertet durch die neue Colloidal Gold Standard Filter-Prüfmethode von Pall. Mehr... (PDF)
 

Anwendungen in der HalbleiterindustrieFiltrations- und Reinigungsprodukte für die Halbleiterindustrie
Anwendungsliteratur zu Halbleitern Bei Fragen zur Bestellung wenden Sie sich an Ihren Pall-Vertreter.
Bei technischen Fragen wenden Sie sich an Pall Microelectronics.