Filtration und Reinigung in der Halbleiterindustrie



Die Kontaminationskontrolle ist einer der wichtigsten Aspekte bei der Herstellung von Halbleiterbauteilen.

Pall Corporation bietet Lösungen für die Filtration, Reinigung und Abscheidung für ein breites Spektrum an Flüssigkeiten, wie Chemikalien, Gas, Wasser, CMP-Slurries und Photolack.

Im Blickpunkt

  • Kundenaktualisierung:

    Umstellung von Pall Corporation Fluorpolymer-Produkten auf PFOA freie Produkte. Mehr... (PDF)
  • The Gold Standard

    Der neue 10 nm Ultipleat® SP DR-Filter, leistungsbewertet durch die neue Colloidal Gold Standard Filter-Prüfmethode von Pall. Mehr... (PDF)
Anwendungen
Anwendungen
Lösungen für die Filtration und Reinigung in der Halbleiterfertigung
PRODUKTE
PRODUKTE
Siehe Filtrations- und Reinigungsprodukte in der Halbleiterfertigung
ANWENDUNGSLITERATUR
ANWENDUNGSLITERATUR
Weitere Informationen zur Filtration und Reinigung in der Halbleiterfertigung
Broschüre
Broschüre
Gesamte Filterwertschöpfungs-kette für leistungsstarke Leuchtdioden (HBLED)