Fertigung von Dünnschichtmodulen

Chemikalien- und Wasserfiltration

Die Ultipleat® PK-Filtrationsprodukte sind für die Verarbeitung von Chemikalien und DI(entionisiertem)-Wasser auf großflächigen Substraten ausgelegt. Die Feinfiltration ist insbesondere für die Schichtintegrität bei Dünnschichtprozessen von Bedeutung. Substrate von hoher Reinheit sind für eine konstant hohe Modulqualität erforderlich.

Gaslösungen für die Fertigung von Dünnschicht-Solarmodulen

Pall offers a line of filtration and purification products that deliver the highest purity gases required by the makers of photovoltaic devices.

Gasreinigung für die Dünnschichtaufbringung

Die aktive Dünnschicht in CIGS(Kupfer-Indium-Gallium-Diselinid)-Solarzellen wird häufig mithilfe von Sputter-Beschichtung gebildet. 

Bei diesem vakuumbasierten Prozess wird ein Plasma aus Elektronen und Ionen aus inertem Argon-Gas hergestellt. Die Ionen lösen Atome aus der Oberfläche eines kristallinen Materials, das anschließend aufgebracht wird, um eine hauchdünne Beschichtung auf einem Substrat zu bilden.

Mehrkomponentenfilme können mit einer herausragenden stöchiometrischen Genauigkeit aufgebracht werden.

Pall argon purification products remove moisture, oxygen, carbon monoxide, carbon dioxide and hydrocarbons thereby:

  • die Folienqualität zu verbessern.
  • die Ausgasung zu verringern, die schneller zu Pumpenausfällen führt
 

Überblick Photovoltaik
Photovoltaik – Anwendungen
Photovoltaik – Polysilizium-Reinigung und -Verarbeitung
Photovoltaik – Kristallzüchtung
Photovoltaik – Rückgewinnung von Silizium und Prozesswasser
Photovoltaik – Verarbeitung kristalliner Siliziumzellen
Photovoltaik – Fertigung von Dünnschichtmodulen
Photovoltaik – Produkte
Bei Fragen zur Bestellung wenden Sie sich an Ihren Pall-Vertreter.

Dünnschicht aus amorphem Silizium und Anti-Reflex-Coatings

Molekulare Verunreinigung in Wasserstoff und Silan, das zur Herstellung für Anti-Reflex-Coatings oder Dünnschichten aus amorphem Silizium verwendet wird, können zahlreiche Prozessprobleme verursachen. Wie z. B. eine ungleichmäßige Beschichtung und andere Defekte aus generierten Partikeln.

Gaskleen® II-Reiniger reduzieren den Feuchtigkeits- und Sauerstoffgehalt in Wasserstoff- und Siliziumwasserstoffgasen auf < 1 ppb.  Der Reiniger kann zudem Spurenanteile von Siloxanen und Dotierungsmetallen wie As, P, Al und B aus Silan entfernen.

Kostengünstige Gasfiltration

Gaskleen Lichtkomplettfilter bieten eine moderne Gasfiltration für den Photovoltaikmarkt bei geringstmöglichen Kosten.