Reinstwasserfiltration in der Display-Fertigung

Das Erzeugen und Aufrechterhalten von Reinstwasser (UPW) ist äußerst wichtig, da es bei der Herstellung von Bildschirmen durchgängig vielfache Anwendung findet.  

Die Technologie dieser Branche hat sich in den letzten Jahren so rasch weiterentwickelt, dass die Branche die Anforderungen an den Reinheit, insbesondere im Hinblick auf den Bedarf einer quantitativen Entfernung von kolloidaler Kieselsäure, Partikeln, Total Organic Carbon (TOC), Bakterien, Pyrogenen (bakterielle Fragmente) und Metallionen, neu definiert hat.  

Mit einem durchdachten UPW-System mit strategisch platzierten Filtern kann dieses Ziel erreicht werden, da der für die jeweiligen Schlüsselbereiche ausgewählte Filtertyp einen messbaren Unterschied in der endgültigen Qualität gewährleistet.  

Um die Anforderungen an ein System mit hochreinem DI-Wasser zu erfüllen, müssen die Filter die folgenden Merkmale aufweisen:

  • Kein Beitrag an organischen, partikulären oder metallionogenen Verunreinigungen im Filtrat. 
  • Keine Freisetzung von Filtermaterial oder bereits zurückgehaltener Verunreinigungen. 
  • Integritätstestfähig, um Rückhalteraten zu verifizieren 
  • Gleichbleibende Leistung von Charge zu Charge 
  • Geringer Druckabfall und somit lange Standzeit und maximale Wirtschaftlichkeit
 

Display - ÜbersichtDisplay – Anwendungen
Display – Chemikalienfiltration
Display – Fotolithographie-Filtration
Display – Flüssigkristallfiltration
Display – Gasfiltration und -reinigung
Display – Reinstwasserfiltration

Pall bietet Filter für die Filtration vor Umkehrosmose, zur Harzabscheidung sowie für den Reinstwasserring und Endstellen an.  Mit den Filterkerzen der IonKleen™-Reihe können Spurenmetalle im niedrigen-ppt Bereich entfernt werden.


Produkte für die Reinstwasserfiltration in der Display-Fertigung

Filterelemente

Asymmetrischer P-Nylon-Filter (Reinstwasserfiltration)
Asymmetrischer P-Nylon-Filter (Reinstwasserfiltration)Die Raumporenstruktur des Filters mit offener Struktur upstream und feinem Bereich downstream ermöglicht Rückhalteraten bei der Filtration hinunter auf 20 nm bei extrem niedrigen Differenzdrücken.

   
Nexis® A-Filterkerzen
Nexis® A FilterkerzenDiese Filterkerze ist selbst bei hohen Differenzdrücken beständig gegenüber Partikelmigration.




    
Filterkerzen der Nexis® T-Serie
Nexis® T FilterkerzenDarüber hinaus verfügt diese Filterkerze über eine kontinuierlich abgestufte Porenstruktur für die Vor- und Endfiltration.



   
Poly-Fine® XLD-Filterkerze
Poly-Fine® XLD-FilterkerzeDiese Filterkerze ist durch die innovative Kombination aus Tiefenfilter- und gefalteten Filtertechnologien gekennzeichnet, die hohe Flussraten bei geringen Druckabfällen liefern.




Posidyne® UP-Filter
Posidyne® UP-FilterDer Posidyne UP-Filter eignet sich gut für Reinstwasseranwendungen für heutige fortschrittliche Halbleiterhersteller.



Profile® II-Filter
Profile® II-FilterProfile II-Filter entfernen 99,98 % der Verunreinigungen ihrer jeweiligen Porengröße. Sie eignen sich perfekt für die Vorfiltration vor Umkehrosmose sowie als Harzabscheider und für Kühlwasser.
    

Profile® UP-Filter
Profile® UP-FilterDer Profile UP-Filter besteht aus einem gefalteten Tiefenfiltermedium, mit Pall Ultipleat®-Filtergeometrie. Zum Einsatz als  Harzabscheider, Vorfilter Umkehrosmose oder Kühlwasserfilter mit hervorragendem Durchflussleistungen.   


Ultipleat® High Flow-Filter
Ultipleat® High Flow-FilterDieser Filter eignet sich perfekt für die Vorfiltration vor Umkehrosmose sowie für die Harzabscheidung und Kühlwasseranwendungen.



Ultipleat® High Flow-Filter für Ätzanwendungen
Ultipleat® High Flow-Filter für ÄtzanwendungenDer Ultipleat High Flow-Filter eignet sich für Anwendungen in der TFT LCD-Fertigung wie Nassätzen und Reinigung.


Ultipleat® PK-Filter
Ultipleat® PK-FilterDiese Filterkerze ist für wässrige Anwendungen mit hohen Flussraten, die in Prozessen für 7G- und 8G-LCD-Anzeigen benötigt werden, ausgelegt.
    

Ultipleat® PKS-Filter
Ultipleat® PKS-FilterDiese Filterkerze wurde speziell für Anwendungen entwickelt, bei denen Wasser mit hohen Flussraten gefiltert werden muss. Dies ist für 5G-LCD- und die neue Generation der LCD-Prozesse erforderlich.




Varafine-Filterkerzen der Serie VFSG
Varafine™-Filterkerzen der Serie VFSGDie hochgradig asymmetrische Membran dieser Filterkerze gewährleistet hohe Flussraten und eine lange Standzeit.


 

Filterkerzen der Serie Water-Fine
Filterkerzen der Serie Water-FineDies ist ein Filter für deionisiertes und hochreines Wasser, der ausgezeichnete Flussraten und eine lange Standzeit gewährleistet.
 

 

Gehäuse

Fluoro-Plus II PFA-Filtergehäuse
Fluoro-Plus™ II PFA-FiltergehäuseHierbei handelt es sich um ein PFA-Einzelfiltergehäuse für kritische chemische Anwendungen in der Elektronik



Megaplast In-Line-PFA-Filtergehäuse
Megaplast™ In-Line-PFA-FiltergehäuseDieses Gehäuse ist für die strengen Reinheits- und Kompatibilitätsanforderungen von Reinstchemikalien ausgelegt.


Megaplast Polypropylen- und PVDF-Filtergehäuse (Reinstwasserfiltration)
Megaplast™ Polypropylen- und PVDF-Filtergehäuse (Reinstwasserfiltration)Das Gehäuse bietet ausgezeichnete mechanische Eigenschaften ohne Verwendung von Metallkomponenten.