Reinstwasserfiltration in der Halbleiterfertigung

Anforderungen an Reinstwasserfiltration/
Reinigung

Die Erzielung und Aufrechterhaltung von Reinstwasser ist äußerst wichtig, da es bei der Herstellung von integrierten Halbleiterschaltungen breite Anwendung findet.

Die Technologie dieser Branche hat sich in den letzten Jahren so rasch weiterentwickelt, dass die Branche die Anforderungen an den Reinheit, insbesondere im Hinblick auf den Bedarf einer quantitativen Entfernung von kolloidaler Kieselsäure, Partikeln, Total Organic Carbon (TOC), Bakterien, Pyrogenen (bakterielle Fragmente) und Metallionen, neu definiert hat. 

Mit einem durchdachten UPW-System mit strategisch platzierten Filtern kann dieses Ziel erreicht werden, da der für die jeweiligen Schlüsselbereiche ausgewählte Filtertyp einen messbaren Unterschied in der endgültigen Qualität gewährleistet.

  Übersicht für den Halbleitermarkt
Halbleiter – Anwendungen
Halbleiter – Chemikalien
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Halbleiter – Gasfiltration und -reinigung
Halbleiter – Fotolithographie
Halbleiter – Reinstwasser
Halbleiter – Abwasseraufbereitung
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