Abwasseraufbereitung

In der Halbleiterindustrie steigt der Wasserverbrauch und somit auch die Abwassermenge. Der Wasserverbrauch in der Industrie sowie die Umweltverschmutzung werden durch Behörden streng kontrolliert, die eine Verringerung des Wasserverbrauchs sowie einen geringen Anteil an Schwebstoffen im Abwasser fordern.





In vielen Ländern ist die Ausweitung der Produktion durch eine begrenzte Wasserversorgung eingeschränkt. Furthermore, the increasing cost of water, together with fines and surcharges for excessive consumption or discharge, is of growing importance as “green” initiatives gain momentum.

Folgende Prozesse sind wasser- und abwasserintensiv:

  • Chemisch-mechanisches Polieren (CMP)
  • Silizium-Abschleifverfahren (Backgrinding) und -Sägeverfahren (Dicing)

    Please view the pdf below for application information.
    Wastewater Treatment Introduction 

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