Abwasseraufbereitung in der Halbleiterfertigung

In der Halbleiterindustrie steigt der Wasserverbrauch und somit auch die Abwassermenge.

Der Wasserverbrauch in der Industrie sowie die Umweltverschmutzung werden durch Behörden streng kontrolliert, die eine Verringerung des Wasserverbrauchs sowie einen geringen Anteil an Schwebstoffen im Abwasser fordern.

In vielen Ländern ist die Ausweitung der Produktion durch eine begrenzte Wasserversorgung eingeschränkt. Faktoren wie zunehmende Wasserkosten, Geldbußen und Zuschläge für übermäßigen Wasserbrauch oder hohe Abwassermengen werden immer wichtiger, je mehr „grüne“ Initiativen auf fruchtbaren Boden fallen.
Folgende Prozesse sind wasser- und abwasserintensiv:

  Übersicht für den Halbleitermarkt
Halbleiter – Anwendungen
Halbleiter – Chemikalien
Halbleiter – CMPHalbleiter – Gasfiltration und -reinigung
Halbleiter – Fotolithographie
Halbleiter – Reinstwasser
Halbleiter – AbwasseraufbereitungBei Fragen zur Bestellung wenden Sie sich an Ihren Pall-Vertreter.
Hier klicken, um den Abschnitt zu erweitern/zu reduzierenChemisch-mechanisches Polieren (CMP)
Hier klicken, um den Abschnitt zu erweitern/zu reduzierenSilizium-Abschleifverfahren (Backgrinding) und -Sägeverfahren (Dicing)